洁净室末端过滤器检漏方法      上海

洁净室末端过滤器检漏方法洁净室安装竣工后检测*，洁净室工程检测项目比较繁多，例如洁净度检测、风量检测、压力检测、噪音检测、照度检测、地板静电系数检测等。本文为大家介绍的就是洁净度检测项目里面的其中一项：过滤器检漏。过滤器对检漏的要求：被检过滤器应检测过风量并在设计风量的80%~120%条件下运行。被检过滤器上游的粒子浓度被检过滤应满足下列要求：对受控粒径≥0.5μm的浓度，应不小

洁净室末端过滤器检漏方法

洁净室安装竣工后检测*，洁净室工程检测项目比较繁多，例如洁净度检测、风量检测、压力检测、噪音检测、照度检测、地板静电系数检测等。本文为大家介绍的就是洁净度检测项目里面的其中一项：过滤器检漏。

      过滤器对检漏的要求： 

      被检过滤器应检测过风量并在设计风量的 80%~120%条件下运行。 被检过滤器上游的粒子浓度被检过滤应满足下列要求：对受控粒径≥0.5μm 的浓度，应不小于 3.5x104pc/L 对受控粒径≥0.5μm 的浓度，应不小于 3.5x104pc/L 

       检漏方法： 

       用粒子计数器对安装的接缝和主断面进行扫描检漏。检漏点应距离被检表面20~30mm。扫描的速度 5~20mm/s， 扫描检漏的部位为过滤器整个断面，封头胶，安装框架等处。扫描检漏用的粒子计数器的zui小采样量应大于 1L/min。

       合格标准： 

       被检过滤器下游的粒子浓度换算成穿透率， 过滤器不应大于出厂合格穿透率的两倍。