无尘室标准—无尘室（无尘车间）等级划分

无尘室（洁净室）根据洁净程度不同分很多等级。

    目前各半导体加工和面板组装厂的无尘室等级大都为1000级和100级的居多，数字越小，洁净等级越高。 

无尘室（洁净室）1000级的概念是：每立方英尺内,大于等于0.5的灰尘颗粒不能过1000颗 ；

无尘室（洁净室）100级的概念是:每立方英尺内,大于等于0.3的灰尘颗粒不能过100颗 ；

注意了：每个等级所管控的颗粒大小也不一样；

依据美国联邦政府颁布的标准【Federal Atandard（FS）209E，1992】，可将无尘室（洁净室）分为六级。分别是1级、10级、100级、1000级、10000级、100000级；

如果无尘室（洁净室）的等级只用尘粒数目来叙述，则可假设尘粒的尺寸不是0.5um，无尘室等级应以在一特定尘粒尺寸的级数来表示。例如：10级在0.2um（尘粒尺寸在0.2um或更大下，密不大于75颗/立方英尺），1级在0.1um(尘粒尺寸在0.1um或更大下，密度不大于35颗/立方英尺）。而集成电路制造所需的无尘室之洁净度必须优于1000级。

一、联邦规格无尘室等级

现今一般多奉行与美国所制定的联邦规格，BCR则多参考明定生物粒子限制值的NASA规格）。 其Fed.std清洁度的表示法为：1ft3空气中，含有多少个0.5μm（micro）以上的微粒子，及称为[等级○○]。例如：空气中含有10个0.5  以下时，表示为“等级10"。二自然界大气中通常含有300000~30000000个微粒子。 在JIS标准下，无尘室清洁度，共分为8个等级  一般清洁度是指空气的洁净等级，分为等级1、2???8，8阶段。在1立方公尺的空气中，粒径0.1微米的灰尘若是在10个以下时为1；百个以下是100=102是等级2；千个以下时是1000=103等级3，依次类推。 

二、无尘车间-无尘室（洁净室）标准等级

 美国联邦标准209E （1992 年）PC/ft3 

洁净度：粒径(um)